TWP-500DL ダイヤモンドマルチワイヤソー
ソーラー用ウェーハ対応。固定砥粒ワイヤー、セパレートワイヤーウェブによる高精度・高歩留まり・高生産性マシン。
TWP-500DLはダイヤモンドワイヤーの使用を前提に開発したダイヤモンドマルチワイヤソーであり、固定砥粒の特長を最大限に引き出す独自技術を随所に配しています。□156mm×L500mmのシリコンインゴットを上下2段に配列できる2本切り仕様としました。ワイヤーガイドを上下左右に4本配し、1本のワイヤーを上段用と下段用に独立するかたちで巻き掛けて2つのウェブを形成する独自のセパレートワイヤーウェブ方式を採用しました。さらに、ワイヤーがねじれたり斜行したりしないようにボビンやプーリーを配置するとともに高出力モーターを搭載するなど、従来のワイヤーカッティングマシーンと比較して2倍以上の高生産性や、毎分1mmの高速切断時でもTTV10μm以下の高精度かつ98%以上の高歩留まりを実現した、次世代のダイヤモンドマルチワイヤソーです。
主な仕様 |
TWP-500DL | |
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据付寸法 (間口×奥行×高さ) | mm | 1,860×4,200×2,590 |
最大インゴット寸法 | mm | φ156 |
ワイヤーガイド軸数 | 本 | 4 |
最大インゴット長さ | mm | 500×2 (上下2段) |
最大ワイヤー走行速度 | m/分 | 1,500 |